Dengan perkembangan pesat industri elektronik, terutamanya industri semikonduktor, keperluan untuk kualiti air tulen telah diperbaiki secara berterusan, dan penunjuk kuantitatif untuk kandungan anion, kation, bilangan zarah, bahan organik, bakteria, dan sebagainya. Berikut adalah beberapa proses pengeluaran air yang dilaporkan di rumah dan di luar negara dalam beberapa tahun kebelakangan ini.
1. Sistem air tulen dalam loji pengeluaran litar bersepadu ultra-besar-besar terdiri daripada sistem prapreatment, sistem pembuatan air tulen utama, sistem pembuatan air tulen menengah, dan pemulihan saliran dan sistem cawangan lain.
a. Sistem pretreatment. Menurut kualiti air mentah, pembekuan peranti pengapungan bertekanan, penapis dua lapisan dan menara degassing karbon dioksida digunakan. Selepas pembekuan, bahan yang digantung dan bahan organik yang dibubarkan sebahagiannya dalam air mentah sukar untuk diselesaikan kerana ketumpatan rendah mereka. Rawatan pengapungan bertekanan boleh dikeluarkan dengan berkesan. Penapis dua lapisan pasca diletakkan dapat memintas pembekuan halus dari peranti pengapungan untuk menjelaskan lebih lanjut air mentah. Komponen bikarbonat dikeluarkan oleh menara degassing karbon dioksida untuk mencegah pemendakan kalsium karbonat pada permukaan membran sisi air pekat RO pasca-diletakkan.
b. Sistem air tulen utama. Sistem ini terdiri daripada tiga peringkat RO, peranti deoksigenasi dan lajur pertukaran ion. Membran RO mengamalkan membran poliamida tekanan rendah. RO peringkat pertama terutamanya menghilangkan sebahagian besar anion, kation dan bahan organik; RO peringkat kedua terutamanya menghilangkan anion, kation, silikon dan bahan organik; RO peringkat ketiga terutamanya menghilangkan jejak sisa sisa dan meningkatkan ketahanan.
Peranti deoksigenasi mengamalkan degassing membran serat berongga, yang boleh mengeluarkan oksigen terlarut ke bawah kepekatan yang diperlukan, dan juga menghilangkan karbon dioksida sisa, mengurangkan beban lajur pasca pertukaran untuk mengurangkan kekerapan penggantian resin pertukaran ion.
Lajur pertukaran ion boleh mengeluarkan sejumlah kecil ion, logam berat, silikon dan karbon dioksida terlarut yang tinggal di dalam air yang dirawat RO. Lajur Exchange adalah tidak regeneratif, dan tujuannya adalah untuk menghalang CL sisa dan OH-dari mempengaruhi kualiti air yang dirawat semasa regenerasi. Menurut kadar pemulihan normal sebanyak 80%, resin pertukaran digantikan setiap enam bulan.
c. Sistem air tulen sekunder. Sistem ini terdiri daripada penukar haba, pengoksida ultraviolet, penggilap dan sistem ultrafiltrasi. Pengoksidaan ultraviolet menggunakan lampu ultraviolet 185nm tekanan rendah untuk mengurai jumlah komponen TOC yang sangat kecil yang tinggal di air rawatan air tulen utama. Ia amat sesuai untuk menguraikan bahan organik massa molekul relatif rendah dengan kadar penyingkiran yang rendah dalam membran RO.
Penggilap menggunakan resin bola seragam yang rendah untuk menghilangkan bahan organik dan CO2 yang dihasilkan oleh pengoksidaan pra-ultraviolet untuk mengurai TOC, dan pada masa yang sama menghilangkan ion jejak, silikon, logam berat, dan lain-lain. Sistem ultrafiltrasi akhirnya menghilangkan komponen ion pada akhir peranti air ultrapure untuk memenuhi keperluan proses. Komponen membran sistem ini menggunakan membran ultrafiltrasi tekanan luaran yang tidak menghasilkan ion sendiri.
d. Sistem pemulihan saliran. Sistem ini terdiri daripada penapis karbon yang diaktifkan dan penukar anion. Oleh kerana air yang pulih mengandungi H2O2, jadi 42-, f-, Cl-, nh 4+, dan sebagainya, H2O2 dikeluarkan oleh penjerapan karbon aktif; Jadi 42-, f-, Cl- dikeluarkan oleh penukar anion, dan NH 4+ dikeluarkan oleh post-ro.
2. Sistem pembuatan air kemerosotan tinggi mega, resistiviti sistem, oksigen terlarut dan SiO2 dan petunjuk lain pada dasarnya memenuhi keperluan, tetapi kiraan zarah TOC, zarah dan bakteria mesti dirawat dengan langkah-langkah yang sepadan untuk memastikan bahawa ia dapat dijamin. Ia mempunyai ciri -ciri berikut dalam proses pengeluaran air.
a. Air mentah ditapis oleh mikro-floculation, iaitu, PAC ditambah ke paip masuk air untuk pemberbukuan, dan kemudian penapisan dua lapisan dilakukan dengan pasir kuarza dan antrasit.
b. Penapisan karbon diaktifkan diletakkan selepas katil kation asid yang kuat dan menara degassing. Oleh kerana nilai pH air masuk adalah berasid, ini dapat menghalang pembiakan mikrob dan mencapai kesan mengeluarkan bahan organik.
c. Peranti osmosis terbalik ditetapkan selepas pertukaran ion, yang boleh menghalang penyumbatan komponen osmosis terbalik yang disebabkan oleh pencemaran membran dan penskalaan membran, terutamanya untuk air mentah dengan kandungan SiO2 yang besar.
d. Dua degassing digunakan, yang kedua adalah vakum degassing, yang boleh mengeluarkan oksigen terlarut dan toc yang tidak menentu di dalam air.
e. Pensterilan ultraviolet dua peringkat digunakan, dan tahap yang terakhir adalah untuk mencegah bakteria daripada membentuk permukaan membran peranti penggilap osmosis terbalik (FRO).
f. Gunakan peranti osmosis terbalik (penggilap FRO) dan bukannya ultrafiltrasi konvensional. Di FRO, disebabkan oleh penggunaan membran komposit sintetik, kadar penyingkiran TOC sangat tinggi.
3. Sistem air kemurnian tinggi yang dihasilkan oleh peranti 16m in-situ, yang terdiri daripada sistem peredaran penapisan air yang tinggi dan sistem penambahan air yang tinggi.
Sistem ini mempunyai ciri -ciri berikut dalam proses pengeluaran air:
a. Klorin (2 ~ 4mg/L) ditambah selepas penapisan karbon diaktifkan untuk meminimumkan pertumbuhan bakteria sebelum air memasuki osmosis terbalik.
b. Dalam peranti osmosis terbalik, membran selulosa asetat digunakan di peringkat depan dan membran poliamida digunakan di peringkat belakang. Kedua -dua membran digunakan dalam kombinasi untuk saling melengkapi.
c. Air pekat dari peringkat belakang osmosis boleh dikembalikan ke peringkat depan osmosis untuk digunakan semula, dengan itu meningkatkan kadar penggunaan semula air.
d. Sebagai tambahan kepada perlindungan nitrogen, tangki penyimpanan air yang tinggi juga perlu ditambah dengan 0. 2mg/l ozon yang diperbuat daripada oksigen tulen untuk mencegah pertumbuhan bakteria.
e. Gunakan lampu ultraviolet 254nm untuk mensterilkan dan keluarkan ozon sisa di dalam air. Selepas katil bercampur, gunakan lampu ultraviolet 185nm, yang bersamaan dengan 6 ~ 8 kali masa pengekalan biasa, untuk mengurangkan lagi TOC.
f. Tambah ozone ({{0}}. 08 ~ 0.1mg/l) selepas katil bercampur untuk mengurangkan lagi TOC.
g. Gunakan sistem deoksigenasi pemangkin (CORS), atau peranti degassing vakum dua peringkat untuk mengeluarkan oksigen terlarut di dalam air.
h. Gunakan osmosis terbalik dan bukannya ultrafiltrasi untuk memastikan zarah, bahan organik dan bahan yang digantung di dalam air disucikan ke tahap terendah. Osmosis terbalik menggunakan membran komposit dengan jisim molekul relatif 100 dan kadar pengekalan 90%. Paip sistem selepas peranti osmosis terbalik sistem rawatan utama harus dibuat dari paip fluorida polyvinylidene (PVDF), tetapi paip tekanan tinggi osmosis harus dibuat dari paip keluli tahan karat
Peranti peringkat J.4M menggunakan sistem penapisan air kemelut tinggi, dan deoksigenasi boleh diabaikan. Peranti ultrafiltrasi dengan jisim molekul relatif 1000 ~ 100000 boleh digunakan untuk rawatan akhir tanpa memerlukan peranti osmosis terbalik.